[发明专利]六氟化硫气体纯度检测装置

摘要

本发明公开了一种六氟化硫气体纯度检测装置，包括：第一气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第一吸附柱，第一气体检测装置的进气口设置有第一气体流量计，进气口与第一吸附柱的进气的一端连接；第二气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第二吸附柱，第二吸附柱的出气的一端设置有第二气体流量计；高温裂解炉，其与第二气体检测装置连接；第三气体检测装置，其与高温裂解炉连接，第三气体检测装置包括依次连接的气敏传感器、电性质检测设备和数据处理设备，气敏传感器具有在基材上镀有TiO₂‑WO₃复合氧化物薄膜形成的气敏层和非金属保护层。本发明具有准确全面排除干扰气体，检测精度高以及可实现在线监测的有益效果。

主权项

1.一种六氟化硫气体纯度检测装置，其特征在于，包括：第一气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第一吸附柱，所述第一气体检测装置的进气口设置有第一气体流量计以检测进气总流量，所述进气口与所述第一吸附柱的进气的一端连接，所述第一吸附柱为填充有碳酸钙颗粒吸附材料的吸附柱；第二气体检测装置，其与所述第一气体检测装置连接，所述第二气体检测装置沿气体流通方向设置有第二吸附柱，所述第二吸附柱的进气的一端与所述第一吸附柱的出气的一端连接，所述第二吸附柱的出气的一端设置有第二气体流量计以检测经过所述第一吸附柱与第二吸附柱吸附后的气体流量，所述第二吸附柱为填充有氢氧化钠颗粒吸附材料的吸附柱；高温裂解炉，其与所述第二气体检测装置连接，所述高温裂解炉沿气体进入方向设置有温度控制区与裂解发生区，其中，所述温度控制区控制进入所述高温裂解炉的气体逐渐升温以达到气体裂解温度后进入所述裂解发生区，达到裂解温度的气体在所述裂解发生区发生裂解反应，所述温度控制区控制温度的范围为3500～3600℃；以及第三气体检测装置，其与所述高温裂解炉的出气口连接，所述第三气体检测装置包括依次连接的气敏传感器、电性质检测设备和数据处理设备，所述气敏传感器具有气敏层和非金属保护层，所述气敏层通过在基材上镀有TiO2‑WO3复合氧化物薄膜形成，所述非金属材质保护层位于所述气敏层的上方，所述非金属保护层的面板上设置有阵列排列的多个气体通入孔，通过所述气体通入孔使得被检测气体进入所述气敏层，所述气敏层与所述非金属保护层为活动连接，以便于所述气敏层的更换，所述气敏传感器中设置有用于固定所述气敏层的固定座，所述固定座与所述气敏层卡扣活动连接；所述高温裂解炉的出气口与所述第三气体检测装置之间设置有气体抽吸泵，所述气体抽吸泵的出口与多个气体通入孔对应设置，所述气体抽吸泵与微控制器连接以实现被检测气体的自控抽吸；其中，所述高温裂解炉裂解的六氟化硫气体产物二氧化硫通过所述第三气体检测装置的气敏传感器中的气敏层发生作用引起其电性质发生变化，所述电性质检测设备检测气敏传感器的电阻变化并将数据传输至所述数据处理设备，所述数据处理设备分析处理输出被检测气体二氧化硫的含量数据，通过所述第三气体检测装置检测计算出六氟化硫气体的含量，将六氟化硫的含量与所述第一气体流量计检测的进气总流量对应的总气体含量进行对比得出总气体中六氟化硫气体的纯度。