[发明专利]声波器件有效
| 申请号： | 201610037045.5 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN105811913B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 岩城匡郁;佐藤良夫;田中旅人;中泽秀太郎;松田隆志;堤润 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种声波器件，该声波器件包括：Y‑切割X‑传播钽酸锂基板，所述Y‑切割X‑传播钽酸锂基板具有20°或更大且48°或更小的切割角；以及格栅电极，所述格栅电极由层叠在基板上的一个或更多个金属膜组成，并且激发声波，其中，当所述一个或更多个金属膜中的各个金属膜的密度由ρi表示，各个金属膜的泊松比由Pi表示，各个金属膜的膜厚度由hi表示，Cu的密度由ρ0表示，Cu的泊松比由P0表示，并且节距由λ表示时，对于所述一个或更多个金属膜，各个金属膜的“(hi/λ)×(ρi/ρ0)×(Pi/P0)”的总值大于0.08。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 器件 | ||
【主权项】：
1.一种声波器件，该声波器件包括：Y‑切割X‑传播钽酸锂基板(10)，所述Y‑切割X‑传播钽酸锂基板(10)具有20°或更大且48°或更小的切割角；一对叉指电极，该一对叉指电极设置在所述Y‑切割X‑传播钽酸锂基板上，该一对叉指电极中的各叉指电极包括母线和多个电极指，其中，所述多个电极指连接至所述母线；以及格栅电极(12a、12b、13a)，所述格栅电极(12a、12b、13a)由所述一对叉指电极的所述多个电极指形成，由层叠在所述Y‑切割X‑传播钽酸锂基板上的一个或更多个金属膜组成，并且激发声波，其中，当所述一个或更多个金属膜(16、16a、16b)中的各个金属膜的密度由ρi表示，各个金属膜的泊松比由Pi表示，各个金属膜的膜厚度由hi表示，Cu的密度由ρ0表示，Cu的泊松比由P0表示，并且节距由λ表示时，对于所述一个或更多个金属膜，各个金属膜的“(hi/λ)×(ρi/ρ0)×(Pi/P0)”的总值大于0.08，其中重叠区域(56)，在所述重叠区域(56)中，所述一对叉指电极中的一个叉指电极的多个电极指与该一对叉指电极中的另一叉指电极的多个电极指交叉，所述重叠区域(56)包括：中心区域(50)，所述中心区域(50)设置在所述多个电极指的延伸方向上的所述重叠区域的中心处；以及边缘区域(52)，所述边缘区域(52)设置在所述多个电极指的所述延伸方向上的所述重叠区域的边缘上，所述声波在所述边缘区域中的声速比所述声波在所述中心区域中的声速慢，以及设置在所述边缘区域和所述母线之间并且在所述重叠区域外部的间隙区域(54)的声速比所述声波在所述中心区域中的声速快。
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