[发明专利]真空处理装置和质谱分析仪有效
| 申请号： | 201580084663.9 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN108292584B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 松下知義 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 能够充分抑制在使对象物在真空室内移动时产生释气。真空处理装置(100)包括：真空室(1)；载置台(2)，其配置在真空室(1)的内部，供作为处理对象的对象物载置；内部导轨(31)，其铺设在真空室(1)的内部，用于引导载置台(2)；贯通孔(103)，其形成于真空室(1)的侧壁(102)；连结棒(4)，其一端与载置台(2)连结，并且贯穿于贯通孔(103)，另一端配置在真空室(1)的外部；可动构件(5)，其连结于连结棒(4)的另一端；驱动机构(8)，其配置在真空室(1)的外部，用于使可动构件(5)移动；以及波纹管(6)，其配置在可动构件(5)与侧壁(102)之间，以保持真空室(1)的气密性的状态追随可动构件(5)的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 可动构件 载置台 真空处理装置 配置 对象物 贯通孔 连结棒 侧壁 连结 质谱分析仪 处理对象 驱动机构 室内移动 波纹管 气密性 外部 导轨 释气 载置 追随 铺设 贯穿 移动 | ||
【主权项】：
1.一种真空处理装置，其中，该真空处理装置包括：真空室；载置台，其配置在所述真空室的内部，供作为处理对象的对象物载置；内部导轨，其铺设在所述真空室的内部，用于引导所述载置台；贯通孔，其形成于所述真空室的侧壁；连结棒，其一端与所述载置台连结，并且贯穿于所述贯通孔，另一端配置在所述真空室的外部；可动构件，其连结于所述连结棒的所述另一端；驱动机构，其配置在所述真空室的外部，用于使所述可动构件移动；波纹管，其配置在所述可动构件与所述侧壁之间，以保持所述真空室的气密性的状态追随所述可动构件的位移；外部导轨，其铺设在所述真空室的外部，用于引导所述可动构件；以及共用基台，其横跨所述真空室的内部和外部地延伸，在上表面设置有所述内部导轨和所述外部导轨。
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