[发明专利]用于制造柔性层堆叠的方法和设备、用于制造锂电池的负极的方法以及用于锂电池的负极有效
| 申请号： | 201580083477.3 | 申请日： | 2015-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN108138302B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·德皮施 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/56;H01M4/38 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容提供一种用于制造柔性层堆叠(100)的方法。所述方法包括：提供(310)柔性基板(101)；在柔性基板(101)之上沉积(320)第一层(110)，第一层(110)包括第一材料；在第一层(110)之上沉积(330)第二层(120)，第二层(120)包括第二材料；和去除(340)柔性基板(101)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 柔性 堆叠 方法 设备 锂电池 负极 以及 | ||
【主权项】：
用于制造柔性层堆叠(100)的方法，所述方法包括：提供柔性基板(101)；在所述柔性基板(101)之上沉积第一层(110)，所述第一层(110)包括第一材料；在所述第一层(110)之上沉积第二层(120)，所述第二层(120)包括第二材料；和去除所述柔性基板(101)。
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