[发明专利]激光气体精炼系统在审
| 申请号： | 201580082797.7 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107925211A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 铃木夏志;八代将德;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;B01D53/04;B01D53/46;B01D53/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 黄纶伟,金玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光气体精炼系统作为将从使用包括氙气的激光气体的ArF准分子激光装置排出的排出气体精炼而供给到ArF准分子激光装置的激光气体精炼系统，具备氙捕捉器，其降低排出气体的氙气浓度；及氙添加装置，其向通过了氙捕捉器的排出气体添加氙气。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 气体 精炼 系统 | ||
【主权项】：
一种激光气体精炼系统，其将从ArF准分子激光装置排出的排出气体进行精炼而供给到所述ArF准分子激光装置，该ArF准分子激光装置使用含氙气的激光气体，所述激光气体精炼系统具备：氙捕捉器，其降低所述排出气体的氙气浓度；和氙添加装置，其向通过了所述氙捕捉器的排出气体添加氙气。
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