[发明专利]制造用于显示器制造的层堆叠的方法和其设备有效
| 申请号： | 201580078866.7 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN107532282B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·塞韦林;安德烈亚斯·克勒佩尔;马库斯·哈尼卡;蔡皮皮;林宛瑜 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开内容描述了一种制造用于显示器制造的多个薄膜晶体管的层的方法和其设备。所述方法包括通过使用第一处理参数集合从含氧化铟的靶溅射第一层而将层堆叠沉积(101)至基板上；使用与第一处理参数集合不同的第二处理参数集合从含氧化铟的靶将第二层溅射至第一层上；以及通过蚀刻来图案化(102)层堆叠。所述设备(200)包括真空腔室(210)；一个或多个含氧化铟的靶(220a、220b)，所述一个或多个含氧化铟的靶在真空腔室内用于溅射透明导电氧化物层；气体分配系统(230)，所述气体分配系统用于在真空腔室内提供处理气体；以及控制器(240)，所述控制器被连接至气体分配系统(230)并且被配置为执行用于进行所述方法的程序代码。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 用于 显示器 堆叠 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580078866.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：模式识别装置、模式识别方法以及记录介质
- 下一篇：无线电预编码
- 同类专利
- 专利分类
