[发明专利]加工辅助具及溅镀靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201580074869.3 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN107208258B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 寺村享祐;柴尾正则;武内朋哉 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B24B37/27 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明课题在于抑制圆筒形陶瓷的外周面损伤或破裂的产生。为了解决该课题，一种具体实施方式的加工辅助具具备旋转体。旋转体随着圆筒形陶瓷的旋转而旋转。旋转体的旋转轴方向的长度为15mm以上，并且旋转体的至少外周部的材质，为洛氏硬度80以上125以下的树脂、或是橡胶硬度80以上95以下的橡胶。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转体 圆筒形陶瓷 溅镀靶材 洛氏硬度 橡胶硬度 外周部 外周面 旋转轴 树脂 加工 破裂 损伤 橡胶 制造 | ||
【主权项】：
1.一种加工辅助具，是圆筒形陶瓷的加工辅助具，具备随着所述圆筒形陶瓷的旋转而旋转的旋转体，所述旋转体的旋转轴方向的长度为15mm以上，并且所述旋转体的至少外周部的材质，为洛氏硬度80以上125以下的树脂、或是橡胶硬度80以上95以下的橡胶。
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