[发明专利]旋转工具心轴、加工平的基板的加工单元、和操作方法有效
| 申请号： | 201580071120.3 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107107518B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | P·克莱蒙特;P·罗巴戴 | 申请（专利权）人： | 鲍勃斯脱梅克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | B31B50/88 | 分类号： | B31B50/88;B31B50/20;B31B50/25;B31F1/07;B31F1/10 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 赵晨宇 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于加工平的基板的加工单元的旋转工具心轴，其中套筒（13）安装在所述旋转工具心轴上，所述旋转工具心轴包括圆柱芯（14）；外周壁（17），所述外周壁（17）向所述套筒（13）施加径向压力来占据静止位置和锁定位置，将所述套筒（13）锁定于所述心轴（12）的适当位置；压力流体回路（21），所述压力流体回路（21）设于所述外周壁（17）与所述圆柱芯（14）之间，用于向所述套筒（13）施加径向压力；以及冷却流体回路（24），所述冷却流体回路（24）允许流体流入所述圆柱芯（14）的区域，冷却所述心轴（12）。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 工具 心轴 加工 单元 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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