[发明专利]由积层制造工艺所生产的研磨垫有效
| 申请号： | 201580069624.1 | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107107306B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | R·巴贾杰;D·莱德菲尔德;M·C·奥里拉利;B·付;A·J·康纳;J·G·方;M·科尔内霍;A·乔卡里汉;M·F·雅玛木拉;R·卡基雷迪;A·库马;V·哈里哈兰;G·E·蒙克;F·C·雷德克;N·B·帕蒂班德拉;H·T·恩古;R·达文波特;A·辛哈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫，及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫，所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物，随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 工艺 生产 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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