[发明专利]包括垂直探针的测试头在审
申请号: | 201580067154.5 | 申请日: | 2015-11-30 |
公开(公告)号: | CN107250808A | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 达尼埃莱·安康斯亚;拉斐尔·瓦劳利 | 申请(专利权)人: | 泰克诺探头公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/073 |
代理公司: | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)11400 | 代理人: | 葛强,雷丽 |
地址: | 意大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明描述了一种包括垂直探针的测试头(20),所述测试头(20)包括设置有用于容纳多个接触探针(21)的导向孔(22A)的至少一个导向件(22),各接触探针(21)具有能够确保与相应的被测器件(27)的接触垫(26)进行机械和电接触的至少一个接触尖端(25),所述导向件(22)容纳于所述测试头(20)的容纳元件(23)。适当地,各接触探针(21)包括设置于所述导向件(22)和被测器件(27)之间的弯曲区域(20A)的变形部分(30),所述变形部分(30)适于在所述测试头(20)的正常工作期间进一步变形,并且通过具有适于实现所述接触尖端(25)的直径的端部(31)至少朝所述被测器件(27)延长,所述端部(31)具有超过500μm的纵向延伸或高度。 | ||
搜索关键词: | 包括 垂直 探针 测试 | ||
【主权项】:
一种包括垂直探针的测试头(20),所述测试头(20)包括设置有用于容纳多个接触探针(21)的导向孔(22A)的至少一个导向件(22),各所述接触探针(21)具有能够确保与被测器件(27)的相应的接触垫(26)进行机械接触和电接触的至少一个接触尖端(25),所述导向件(22)容纳于所述测试头(20)的容纳元件(23),其特征在于,各所述接触探针(21)包括设置于所述导向件(22)和所述被测器件(27)之间的弯曲区域(20A)的变形部分(30),所述变形部分(30)适于在所述测试头(20)的正常工作期间进一步变形,并且通过端部(31)至少朝所述被测器件(27)延长,其中,所述端部的直径适于形成所述接触尖端(25),所述端部(31)的纵向延伸或高度超过500μm。
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