[发明专利]形状测定装置及形状测定方法有效
申请号: | 201580064614.9 | 申请日: | 2015-10-30 |
公开(公告)号: | CN107003113B | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 植木伸明 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B9/02;G01M11/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;韩香花 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够以最小的测定阶数高精度地测定透镜面的整体形状的形状测定装置及形状测定方法。本发明的一方式所涉及的形状测定装置获取按每一个区域测定包括透镜面的面中心的第1区域的形状及一部分与第1区域重合且包括透镜面的外周部的一部分的第2区域的形状而得的形状测定结果。将第2区域的形状测定结果通过以面中心作为中心具有旋转对称性的配置在透镜面配置多个,并对配置有多个的第2区域的形状测定结果实施开口合成处理。对通过开口合成处理得到的形状进行拟合运算,从而运算透镜面的旋转对称成分。对第1区域的形状测定结果进行拟合运算,从而运算透镜面的旋转非对称成分。根据第1运算部及第2运算部的运算结果运算透镜面的整体形状。 | ||
搜索关键词: | 透镜 形状测定结果 运算 形状测定装置 合成处理 形状测定 整体形状 面中心 运算部 拟合 开口 配置 旋转对称性 旋转非对称 区域测定 区域重合 旋转对称 运算结果 透镜面 外周部 阶数 | ||
【主权项】:
1.一种形状测定装置,其具备:获取部,其获取按每一个区域测定第1区域的形状和第2区域的形状而得的形状测定结果,该第1区域是透镜面的一部分且包含所述透镜面的面中心,该第2区域的一部分与所述第1区域重合且包含所述透镜面的外周部的一部分;开口合成处理部,其将由所述获取部获取的所述第2区域的形状测定结果以如下配置来在所述透镜面上配置多个,对配置有多个的所述第2区域的形状测定结果实施开口合成处理,其中,该配置如下:以所述面中心为中心而具有旋转对称性;第1运算部,其对通过所述开口合成处理得到的形状进行拟合运算,从而运算所述透镜面的旋转对称成分;第2运算部,其对由所述获取部获取的所述第1区域的形状测定结果进行拟合运算,从而运算所述透镜面的旋转非对称成分;及第3运算部,其根据所述第1运算部及所述第2运算部的运算结果,运算所述透镜面的整体形状。
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