[发明专利]用于等离子体处理系统的紧凑型可配置式模块化射频匹配网络组件有效
| 申请号： | 201580053250.4 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107079576B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | J·库德拉;R·I·辛德;S·安瓦尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H03H7/38 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于将来自射频(RF)发生器的RF能量输出与可变阻抗负载匹配的紧凑型可配置式射频匹配网络。该匹配网络包括输入连接器；输出连接器；以及包含一个或多个调谐与负载电子部件的部件组件阵列。电子部件中的至少一个耦接至输入连接器，电子部件中的至少一个耦接至输出连接器，部件组件阵列被适配成依选择的拓扑结构(topology)排列，以及选择的拓扑结构被适配成减少自可变阻抗负载反射(reflect)的RF能量。提供了诸多其他方面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 系统 紧凑型 配置 模块化 射频 匹配 网络 组件 | ||
【主权项】：
1.一种用于将来自射频发生器的射频能量输出与带有可变阻抗负载的等离子体腔室匹配的射频匹配网络组件，所述射频匹配网络组件包括：/n壳体，所述壳体具有输出背板，所述输出背板形成所述壳体的壁；/n输入连接器；/n输出连接器；以及/n紧凑型可配置式部件组件阵列，所述部件组件阵列封闭在所述壳体内并安装在所述输出背板上，所述部件组件阵列包含一个或多个调谐与负载电子部件，/n其中所述调谐与负载电子部件中的至少一个与所述输入连接器耦接，所述调谐与负载电子部件中的至少一个与所述输出连接器耦接，所述部件组件阵列适于使用固定数量的汇流条与可配置式连接器而被排列为多个网络拓扑中的一者并且能够从所述多个网络拓扑结构中的一个网络拓扑结构改变为另一个网络拓扑结构，所述网络拓扑结构包含选择的网络拓扑结构，且所述选择的网络拓扑结构被适配成减少自所述可变阻抗负载反射的射频能量；并且/n其中所述多个网络拓扑结构包括L型网络拓扑，倒L型网络拓扑，T型网络拓扑和∏型网络拓扑。/n
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