[发明专利]经蓝宝石薄膜涂覆的可挠基板有效
| 申请号： | 201580052943.1 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN107109623B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 谢国伟;李敬辉;谭海岚;李嘉旋;李贵新;林永锐;陈余伟 | 申请（专利权）人： | 香港浸会大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 张约宗 |
| 地址： | 中国香港*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种将较硬薄膜基板层转移至较软可挠基板上的方法。详言的，本发明提供一种将蓝宝石薄膜层沉积于较软可挠基板(例如PET、聚合物、塑料、纸及织物)上的方法。此组合向较软可挠基板提供蓝宝石薄膜的硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 薄膜 可挠基板 | ||
【主权项】：
1.一种将蓝宝石(Al2O3)涂覆于可挠基板上的方法，其包含：将至少一个第一薄膜沉积于至少一个第一基板上以形成至少一个经第一薄膜涂覆的基板的至少一个第一沉积过程；将至少一个第二薄膜沉积于所述至少一个经第一薄膜涂覆的基板上以形成至少一个经第二薄膜涂覆的基板的至少一个第二沉积过程；将至少一种催化剂沉积于所述至少一个经第二薄膜涂覆的基板上以形成至少一个经催化剂涂覆的基板的至少一个第三沉积过程；将至少一个蓝宝石(Al2O3)薄膜沉积于所述至少一个经催化剂涂覆的基板上以形成至少一个经蓝宝石(Al2O3)涂覆的基板的至少一个第四沉积过程；至少一个退火过程，其中所述至少一个经蓝宝石(Al2O3)涂覆的基板在范围介于300℃至低于蓝宝石(Al2O3)熔点的退火温度下退火有效持续时间以形成至少一个经硬化蓝宝石(Al2O3)薄膜涂覆的基板；将至少一个可挠基板附接于所述至少一个蓝宝石(Al2O3)薄膜上的所述至少一个经硬化蓝宝石(Al2O3)薄膜涂覆的基板；至少一个机械分离过程，使所述至少一个硬化蓝宝石(Al2O3)薄膜连同所述至少一个第二薄膜与所述至少一个经第一薄膜涂覆的基板分离以在所述至少一个可挠基板上形成至少一个经第二薄膜涂覆的硬化蓝宝石(Al2O3)薄膜；以及至少一个蚀刻过程，自于所述至少一个可挠基板上的所述至少一个经第二薄膜涂覆的硬化蓝宝石(Al2O3)薄膜移除所述至少一个第二薄膜以形成至少一个经蓝宝石(Al2O3)薄膜涂覆的可挠基板；其中所述至少一个可挠基板与所述至少一个硬化蓝宝石(Al2O3)薄膜之间的所述附接比所述至少一个第一薄膜与所述第二薄膜之间的黏结性强。
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