[发明专利]用于对试样成像的装置有效
| 申请号： | 201580051470.3 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106716217B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 海尔穆特·里佩尔特;托马斯·卡尔克布莱纳;因格·克莱珀;拉尔夫·沃勒辛斯基;乔治·吉本摩尔根 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/08;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 | 代理人： | 崔永华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对布置在物体平面(1)中的试样(2)进行成像的装置。这种装置包括：光学传输系统(3)，其将试样(2)的区域从物体平面(1)成像到中间像平面(4)中。物体平面(1)和中间像平面(4)与传输系统(3)的光轴(5)夹成不等于90°的角度。光学传输系统(3)由多个透镜构成。所述装置还包括带有物镜的光学成像系统(6)，物镜的光轴(7)垂直于中间像平面(4)且物镜聚焦到中间像平面(4)上，使得物体平面(1)能够不失真地成像到检测器(8)上。最后，所述装置还包括用于以光片(11)对试样(2)照明的照明装置(10)，光片(11)基本上处在物体平面(1)中并且确定出照明方向，物体平面(1)的法线确定出检测方向。在这种装置中，物体平面(1)与传输系统(3)的光轴(5)夹成如下的角度，其量值小于传输系统(3)的物体侧的检测孔径锥(12)的打开角度，物体平面(1)至少部分处在物体侧的检测孔径锥(12)内部。中间像平面(4)与传输系统(3)的光轴(5)夹成如下的角度，其量值小于中间像侧的检测孔径锥(13)的打开角度，中间像平面(4)至少部分处在中间像侧的检测孔径锥(13)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 试样 成像 装置 | ||
【主权项】：
一种用于对布置在物体平面(1)中的试样(2)进行成像的装置，包括：光学传输系统(3)，所述光学传输系统将试样(2)的区域从物体平面(1)成像到中间像平面(4)中，其中，物体平面(1)和中间像平面(4)与传输系统(3)的光轴(5)夹成不等于90°的角度，光学传输系统(3)由多个透镜构成；带有物镜的光学成像系统(6)，所述物镜的光轴(7)垂直于中间像平面(4)且所述物镜聚焦到中间像平面(4)上，使得物体平面(1)能够不失真地成像到检测器(8)上；用于利用光片(11)对试样(2)照明的照明装置(10)，其中，光片(11)基本上处在物体平面(1)中且确定出照明方向，物体平面(1)的法线确定出检测方向，其特征在于，光学成像系统(6)以能够对围绕物镜的光轴(7)非对称地分布的检测角度范围加以检测且成像到检测器(8)上的方式设计。
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