[发明专利]用于能量射束偏转速度验证的方法和装置有效
| 申请号： | 201580044529.6 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN106573305B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | A.斯尼斯 | 申请（专利权）人： | 阿卡姆股份公司 |
| 主分类号： | B22F3/105 | 分类号： | B22F3/105;B23K15/00;B23K26/04;G01B11/00;G01B11/14;G01B15/00;G01P3/36;G01P21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 叶菲;张涛 |
| 地址： | 瑞典默*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 一种用于验证能量射束点的偏转速度的方法，所述方法包括以下步骤：利用能量射束点在工作台上提供预定的图案，而同时用第一偏转速度来偏转能量射束点，检测工作台上用第一偏转速度所创建的能量射束点的第一定位，利用能量射束点在工作台上提供预定的图案，而同时用第二偏转速度来偏转能量射束点，检测工作台上用第二偏转速度所创建的能量射束点的第二定位，比较第一和第二定位，其中如果第一定位中的每一个从对应的第二定位偏离得小于预定距离则偏转速度被验证。 | ||
| 搜索关键词： | 能量 偏转 速度 验证 | ||
【主权项】：
1.一种用于验证能量射束点的偏转速度的方法，所述方法包括以下步骤：利用所述能量射束点在工作台上生成预定的图案，而同时用第一偏转速度来偏转所述能量射束点；检测所述工作台上用所述第一偏转速度所创建的所述能量射束点的第一定位；利用所述能量射束点在工作台上生成所述预定的图案，而同时用第二偏转速度来偏转所述能量射束点；检测所述工作台上用所述第二偏转速度所创建的所述能量射束点的第二定位；以及比较所述第一和第二定位，其中如果所述第一定位中的每一个与所述第二定位中对应的定位之间的偏离小于预定距离则所述偏转速度被验证。
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