[发明专利]用于光束表征的设备和方法

摘要

本发明的一方面涉及用于光束表征的方法，包括下列步骤：‑通过分离器光学件分离光束为第一子光束和第二子光束；‑第一子光束传播通过第一光学件，并且第二子光束传播通过第二光学件，分别地设置所述第一和第二光学件，这样称为“参考光束”的离开第一光学件时的第一子光束，以及称为“表征光束”的离开第二光学件时的第二子光束被用步调P1扫描时间间隔T1的时间延迟τ分离；‑通过复合器光学件的参考光束和表征光束的重组，这样光束空间地干涉和形成二维干涉模式；‑根据用步调P1扫描时间间隔T1的时间延迟τ，通过测量系统，所述二维干涉模式的测量，以获得时间干涉图；‑在时间干涉图的至少一个空间点的频域中傅里叶变换的计算，在频域中所述的傅里叶变换具有频率中心峰以及第一和第二频率侧峰；‑对于频域中所述傅里叶变换的所述第一和第二频率侧峰之一，光谱振幅A_R(ω)和空间‑光谱相位的计算。

主权项

1.一种用于光束(FL)表征的方法(10)，该方法包括下列步骤：‑通过分离器光学件(Os、SR)分离光束(FL)为第一子光束(F1)和第二子光束(F2)，第一子光束(F1)采用第一光学路径(C1)，并且第二子光束(F2)采用第二光学路径(C2)；‑第一子光束(F1)传播通过第一光学件(O1)，并且第二子光束(F2)传播通过第二光学件(O2)，第一子光束(F1)在第一光学件(O1)的整个表面上具有非均匀的电磁场，所述第一光学件(O1)和第二光学件(O2)由于控制装置(Pz)而被分别地设置在第一光学路径(C1)和第二光学路径(C2)中，这样称为“参考光束(Fref)”的离开第一光学件时的第一子光束，以及称为“表征光束(Fcar)”的离开第二光学件时的第二子光束被用步调P1扫描时间间隔T1的时间延迟τ分离；‑通过复合器光学件(Or,SR)的参考光束(Fref)和表征光束(Fcar)的重组，这样光束空间地干涉和形成二维干涉模式(M1)；‑根据参考光束(Fref)和表征光束(Fcar)之间的用步调P1扫描时间间隔T1的时间延迟τ，通过测量系统(SM1)，所述二维干涉模式(M1)的测量，以获得时间干涉图(S1)；‑通过计算器(K)，时间干涉图(S1)的至少一个空间点的频域(TFF)中傅里叶变换的计算，在频域(TFF)中所述的傅里叶变换具有频率中心峰(fc)以及第一和第二频率侧峰(fl1,fl2)；‑对于所述频域(TFF)中傅里叶变换的所述第一和第二频率侧峰之一，通过计算器(K)，称为“相对光谱振幅”的光谱振幅A_R(ω)和称为“相对空间‑光谱相位”的空间‑光谱相位的计算。