[发明专利]用于吸附和/或解吸气体的至少一种成分的预浓缩器在审
| 申请号： | 201580038587.8 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN106662560A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | I.艾泽勒;M.弗莱舍尔;H.黑德勒;M.席贝尔;J.扎普夫 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 臧永杰,姜甜 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于吸附和/或解吸气体的至少一种气体成分的微结构（12），所述气体被输送给所述微结构（12），所述微结构包括具有下侧（16）和上侧（18）的半导体衬底（14），其中提供多个微通道（20），所述微通道分别从半导体衬底（14）的下侧（16）延伸到上侧（18），其中相应的微通道（20）的表面（22）被构造用于在气体流经相应的微通道（20）时吸附和/或解吸至少一种气体成分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 吸附 解吸 气体 至少 一种 成分 浓缩器 | ||
【主权项】：
用于吸附和/或解吸气体的至少一种气体成分的微结构（12），其中所述气体被输送给所述微结构（12），所述微结构包括具有下侧（16）和上侧（18）的半导体衬底（14），其特征在于多个微通道（20），所述微通道（20）分别从所述半导体衬底（14）的所述下侧（16）延伸到所述上侧（18），其中所述相应的微通道（20）的表面（22）被构造用于在所述气体流经所述相应的微通道（20）时吸附和/或解吸所述至少一种气体成分。
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