[发明专利]成膜方法和成膜装置在审
| 申请号： | 201580038458.9 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN106536066A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 梶山康一;水村通伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | B05D1/32 | 分类号： | B05D1/32;B05B15/04;B05C9/14;H05B33/10;H05K3/12 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所11323 | 代理人： | 权鲜枝,侯剑英 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的成膜方法进行在使金属掩模(6)贴紧到显示面板(4)的显示面(4a)的状态下，一边加热金属掩模(6)，一边从金属掩模(6)侧对显示面板(4)的显示面(4a)涂敷液体的成膜材料(16)的步骤；以及加热并烧制所涂敷的液体的成膜材料(16)而形成薄膜图案的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜方法，其特征在于，进行：在使金属掩模紧贴到基板的成膜面的状态下，一边加热上述金属掩模，一边从上述金属掩模侧对上述基板的成膜面涂敷液体的成膜材料的步骤；以及加热并烧制上述被涂敷的液体的成膜材料而形成薄膜图案的步骤。
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