[发明专利]带有用于矫正可改变的球面像差的矫正单元的显微镜有效
| 申请号： | 201580038328.5 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106537193B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·舒尔茨;克里斯蒂安·舒曼;康奈尔·龚修尔;托比阿斯·鲍尔 | 申请（专利权）人： | 莱卡微系统CMS有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B3/04 | 分类号： | G02B3/04;G02B21/02;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 介绍一种显微镜(21、40、60)，其带有至少一个设置在光路中的矫正单元(10)，该矫正单元用于矫正可改变的球面像差。所述矫正单元(10)包括至少一个光学矫正元件(12)，该矫正元件沿着光轴(O)可移动地设置在所述光路的会聚或发散的区域(14)中。所述光学矫正元件(12)具有矫正面(18)，该矫正面的被所述光路的所述会聚或发散的区域(14)穿过的部分形成了矫正作用的面区段(20)，该面区段的横向于所述光轴(O)的径向延展能够通过所述矫正元件(12)沿着所述光轴(O)的移动而改变。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 用于 矫正 改变 球面 单元 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种显微镜(21、40、60)，带有至少一个设置在光路中的矫正单元(10)，该矫正单元用于矫正可改变的球面像差，其中，所述显微镜是扫描显微镜，在该扫描显微镜中，至少一个所述矫正单元(10)设置在主分束器(24)与扫描模块(26)之间，或者，所述显微镜是扫描显微镜，在该扫描显微镜中，至少一个所述矫正单元(10)设置在光源(22)与扫描模块(26)之间，和/或设置在探测器(34)与所述扫描模块(26)之间，其特征在于，所述矫正单元(10)包括至少一个光学矫正元件(12)，该矫正元件沿着光轴(O)可移动地设置在所述光路的会聚或发散的区域(14)中；和所述光学矫正元件(12)具有至少一个矫正面(18)，该矫正面的被所述光路的所述会聚或发散的区域(14)穿过的部分形成了矫正作用的面区段(20)，该面区段的横向于所述光轴(O)的径向延展能够通过所述矫正元件(12)沿着所述光轴(O)的移动而改变，所述矫正面(18)由椭圆形的抛物面形成，并且经过构造，从而所述矫正作用的面区段(20)的因所述矫正元件(12)沿着所述光轴(O)移动引起的改变对由折射率失配而产生的球面像差予以矫正。
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