[发明专利]激光源中的光电磁传感器的校准

摘要

在激光产生等离子体(LPP)极紫外(EUV)系统中，使用激光脉冲产生EUV光。为了确定单独的激光脉冲的能量，使用校准系数将光电磁(PEM)检测器校准至功率计。当测量包括单个波长的脉冲的单一激光束时，基于脉冲的突发来计算校准系数。组合激光束具有与第二波长的预脉冲交替的第一波长的主脉冲。为了计算组合激光束中的主脉冲的能量，使用针对主脉冲的单一激光束计算出的校准系数。为了计算组合激光束中的预脉冲的能量，计算出新的校准系数。当计算出的能量值漂移超过预定阈值时，重新计算校准系数。

主权项

1.一种用于生成EUV光的系统，包括：在激光产生等离子体LPP极紫外EUV系统内的能量监测器，所述能量监测器被配置成测量包括通过时间长度分开的预脉冲和主脉冲的激光束，所述能量监测器包括：功率计，被配置成感测跨越限定时间段的一系列激光脉冲的平均功率，以及光电磁PEM检测器，被配置成提供电压信号，所述电压信号描绘在所述限定时间段的部分期间通过所述时间长度与第一主脉冲分开的第一预脉冲的时间分布；校准模块，被配置成基于主脉冲校准系数和所述电压信号中的对应于所述第一主脉冲的部分的脉冲积分来确定所述第一主脉冲的功率，基于所述平均功率和所述第一主脉冲的所述功率来确定所述第一预脉冲的功率，以及基于所述第一预脉冲的所述功率和所述电压信号中的对应于所述第一预脉冲的部分的积分来确定预脉冲校准系数；以及单个脉冲能量计算SPEC模块，被配置成基于所述预脉冲校准系数和由所述PEM检测器提供的第二电压信号中的对应于第二预脉冲的部分的脉冲积分来确定所述第二预脉冲的能量，以及基于所述主脉冲校准系数和所述第二电压信号中的对应于第二主脉冲的部分的脉冲积分来确定所述第二主脉冲的能量，其中所述校准系数是从平均功率和电压信号的积分确定的比率。