[发明专利]极紫外光源有效
| 申请号： | 201580036836.X | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN106537511B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陶业争;J·T·斯特瓦特四世;J·朱尔;D·布朗;J·M·亚查恩德;A·A·沙夫甘斯;M·A·普尔维斯;A·拉弗格 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G21B1/00 | 分类号： | G21B1/00;G03F7/20;G21K5/08;H05G2/00 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华<国际申请>=PCT/US2015 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 生成初始辐射脉冲；提取初始辐射脉冲的一段以形成修改辐射脉冲，修改辐射脉冲包括第一部分和第二部分，第一部分在时间上连接到第二部分，并且第一部分的最大能量小于第二部分的最大能量；修改辐射脉冲的第一部分与靶材相互作用以形成修改靶；并且修改辐射脉冲的第二部分与修改靶相互作用以生成发射极紫外(EUV)光的等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光源 | ||
【主权项】：
1.一种生成极紫外光的方法，包括：/n生成初始辐射脉冲，所述初始辐射脉冲包括在第一时间段上的第一分布，所述第一分布表示在所述第一时间段上所述初始辐射脉冲的能量；/n提取所述初始辐射脉冲的一段，所述初始辐射脉冲的经提取的所述一段包括在第二时间段上的第二分布，所述第二分布表示在所述第二时间段上提取的所述一段的能量，所述第二时间段在所述第一时间段内，所述第一分布在所述第二时间段上与所述第二分布相同，否则与所述第二分布不同；/n基于所述初始辐射脉冲的经提取的所述一段来形成修改辐射脉冲，所述修改辐射脉冲包括第一部分和第二部分，所述第一部分在时间上连接到所述第二部分，并且所述第一部分的最大能量小于所述第二部分的最大能量；/n使所述修改辐射脉冲的第一部分与靶材相互作用以形成修改靶；以及/n使所述修改辐射脉冲的第二部分与所述修改靶相互作用，以生成发射极紫外光的等离子体。/n
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