[发明专利]研磨垫及研磨垫的制造方法在审
| 申请号： | 201580032108.1 | 申请日： | 2015-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN106457523A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 向史博;田浦歳和 | 申请（专利权）人： | 阪东化学株式会社 |
| 主分类号： | B24D3/00 | 分类号： | B24D3/00;B24B7/24;B24B37/24;B24D3/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神 户*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种能以高水平兼顾加工效率与精加工平坦性的研磨垫。本发明的研磨垫具有基材、及层叠于所述基材的表面侧的研磨层，且其特征在于：所述研磨层具有以树脂或无机物为主成分的粘合剂、及分散于所述粘合剂中的金刚石研磨粒，所述金刚石研磨粒的平均形状系数为1以上、1.33以下。所述粘合剂的主成分可为热硬化性树脂或光硬化性树脂。所述粘合剂的主成分可为硅酸盐。所述研磨层在表面可具有多个凸状部，所述多个凸状部可规则地排列。在所述基材的背面侧可具有粘接层。所述粘接层可由粘着剂构成。所述基材可具有可挠性或延性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，其具有基材、及层叠于所述基材的表面侧的研磨层，且所述研磨垫的特征在于：所述研磨层具有以树脂或无机物为主成分的粘合剂、及分散于所述粘合剂中的金刚石研磨粒，所述金刚石研磨粒的平均形状系数为1以上、1.33以下。
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