[发明专利]有序化嵌段共聚物在审
| 申请号： | 201580020461.8 | 申请日： | 2015-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN106462055A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | C·G·威尔森;C·艾里森;M·马赫;C·贝茨;D·简斯 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯大学体系董事会 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;C09D153/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 有序化嵌段共聚物的方法包括形成具有第一优先模式的第一层；和在第一层的选择区域内提供反应性试剂，所述反应性试剂改性选择区域成第二优先模式，其中该选择区域界定保留第一优先模式的第一层的其他区域，进而形成嵌段共聚物的校准层。 | ||
| 搜索关键词： | 有序 化嵌段 共聚物 | ||
【主权项】：
一种校准并定向嵌段共聚物的方法，该方法包括：a)提供含A嵌段和B嵌段的重复单元的嵌段共聚物，基材，和形成层的材料；b)在或者优先润湿所述嵌段共聚物的A嵌段或者为中性且没有优先润湿所述嵌段共聚物的任一嵌段的所述基材上形成第一层，所述第一层包括反应性试剂载体；c)在所述第一层的上面和相邻处形成嵌段共聚物层；d)在步骤c)之前或之后，在图案内选择性辐照所述第一层中的所述反应性试剂载体，于是辐照过的反应性试剂载体在第一层的所选区域内提供反应性试剂，以便改性所选区域的优先润湿；e)在嵌段共聚物层的上面施加顶涂层，以便生成组装件；和f)处理所述组装件，以便定向并校准该嵌段共聚物。
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