[发明专利]矩形闸真空阀、其工作方法及具有其的半导体制造装置在审
| 申请号： | 201580020036.9 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN106471297A | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 安熙俊 | 申请（专利权）人： | 福田株式会社 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/314;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)11641 | 代理人： | 李柱天,陆华 |
| 地址： | 韩国京畿道华*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及矩形闸真空阀及其工作方法，以及具有其的半导体制造装置。本发明的矩形闸真空阀包括闸框架，在相向的两侧面形成有第一闸和第二闸；第一阀单元，以可通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以可通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形 真空 工作 方法 具有 半导体 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种矩形闸真空阀，其特征在于，包括：闸框架，在相向的两侧面形成有第一闸和第二闸；第一阀单元，以能够通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以能够通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。
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