[发明专利]曝光头、曝光装置及用于操作曝光头的方法有效
| 申请号： | 201580019727.7 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN106537224B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 雅各布斯·许贝特斯·特奥多尔·贾马尔;赫曼·亨德里克斯·马尔德林克;欧文·里纳尔多·迈因德斯;彼得·特奥多鲁斯·马里亚·吉森;欧文·约翰·范·茨韦特;亨利·雅克·安托万·琼·斯塔曼斯 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用科学研究会(TNO) |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/12;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 梁丽超;陈鹏<国际申请>=PCT/NL2 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明针对一种用于在一曝光装置中使用以用于照明一表面的曝光头，该曝光头包含：一或多个辐射源，其用于提供一或多道射束；一光学扫描单元，其经配置以用于接收该一或多道射束且用于朝向该表面指引该等射束以用于使该等射束中的每一个撞击于一撞击光点上；一旋转致动单元，其连接至该光学扫描单元以用于至少部分地旋转该光学扫描单元，其中该一或多道射束的该等撞击光点藉由该光学扫描单元的该至少部分旋转跨于该表面上得以扫描，其中该光学扫描单元包含一透射性组件，该透射性组件包括用于接收该一或多道射束及用于在该等射束输送通过该透射性组件之后输出该等射束的一或多个小面，以用于在该透射性组件的该旋转后即使该等射束移位从而允许该等撞击光点的该扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 用于 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在一曝光装置中使用以供照明一表面的曝光头，该曝光头包含：多个辐射源，其用于提供多道射束；一光学扫描单元，其经配置以用于接收该射束且用于朝向该表面指引所述射束，以用于使所述射束中的每一个撞击于一撞击光点上；一旋转致动单元，其连接至该光学扫描单元以用于以连续的旋转运动、以恒定的旋转速度至少部分地旋转该光学扫描单元以允许所述射束的扫描，其中该射束的所述撞击光点藉由该光学扫描单元的该至少部分旋转而扫描跨于该表面，其中该光学扫描单元包含一透射性组件，其中该透射性组件为一多角棱镜，该透射性组件包括用于接收该射束、及用于在所述射束输送通过该透射性组件之后输出所述射束的一或多个小面，以用于在该透射性组件的该旋转时使所述射束移位使得多角形的下一小面随后以恒定速率在所述射束前方转动，从而允许所述撞击光点的该扫描，所述撞击光点由此以用于形成图像的图案照明所述表面。/n
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