[发明专利]直接成像系统的校正有效
| 申请号： | 201580012027.5 | 申请日： | 2015-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN106462049B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 乌里·戈尔德;拉姆·奥龙 | 申请（专利权）人： | 以色列商奥宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03B27/74 | 分类号： | G03B27/74;H01L21/66 |
| 代理公司： | 11409 北京德恒律治知识产权代理有限公司 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 以色列雅弗*** | 国省代码： | 以色列;IL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光学装置包含一固持一工件的架座。一由复数个光学头形成的阵列将各自辐射图案投射至该工件上。一校正总成撷取该等各自图案的影像。一上面安装有该校正总成的运动总成在该等光学头的该阵列与该架座间的复数个不同位置之间输送该校正总成，以在各该不同位置处对一由该等光学头其中的一不同者投射的各自图案进行拦截及成像。一处理器处理由该校正总成在该等不同位置处撷取的该等影像，以监视该装置的运作。 | ||
| 搜索关键词： | 直接 成像 系统 校正 | ||
【主权项】：
1.一种光学装置，包含：/n一架座，用以固持一工件；/n一由复数个光学头形成的阵列，该复数个光学头用以将复数个各自辐射图案投射至该工件上；/n一校正总成，用以撷取该复数个各自辐射图案的复数个影像；/n一运动总成，上面安装有该校正总成，且用以在该复数个光学头的该阵列与该架座间的复数个不同位置之间输送该校正总成，以在各该不同位置处对由该复数个光学头投射的该复数个各自辐射图案的其中一者进行拦截及成像；以及/n一处理器，用以处理由该校正总成在该复数个不同位置处撷取的该复数个影像，以监视该装置的运作。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于以色列商奥宝科技股份有限公司，未经以色列商奥宝科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580012027.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
