[发明专利]特别用于极端温度应用的用于电子器件测试装置的探针卡有效
| 申请号： | 201580011931.4 | 申请日： | 2015-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN107533100B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 里卡尔多·李博瑞尼;拉斐尔·瓦劳利;朱塞佩·克里帕 | 申请（专利权）人： | 泰克诺探头公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 葛强;雷丽 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
披露了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，其包括至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一个适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端，以及与加强件(24)和中间支承件(26，33)关联的测试头(21)的支承板(23)，该中间支承件(26，33)连接至所述支承板(23)并适合在其相对两侧上制得的接触垫之间提供距离的空间变换。合宜地，该探针卡包括与所述中间支承件(26，33)结合的支承件(28)，所述中间支承件(26，33)由适用于印刷电路板技术的材料制成并具有大于10x10 |
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| 搜索关键词： | 特别 用于 极端 温度 应用 电子器件 测试 装置 探针 | ||
【主权项】：
用于电子器件的测试装置的探针卡(20，20’)，包括：至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一个适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端；以及与加强件(24)和中间支承件(26，33)关联的所述测试头(21)的支承板(23)，该中间支承件(26，33)连接至所述支承板(23)并适合在所述中间支承件(26，33)的相对两面上制得的接触垫之间提供距离的空间变换，其特征在于，所述探针卡(20，20’)包括与所述中间支承件(26，33)结合的支承件(28)，所述中间支承件(26，33)由适用于印刷电路技术的材料制成并具有大于10x10‑6的热膨胀系数，所述支承件(28)由热膨胀系数小于6x10‑6的金属材料制成。
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