[发明专利]等离子体前级热反应器系统在审
| 申请号： | 201580009058.5 | 申请日： | 2015-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106029217A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 科林·约翰·迪金森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开内容涉及处理真空处理系统排放气体的方法和装置。此外，也公开了保养前级等离子体反应器子系统的方法和装置。在一些实施方式中，用于处理真空处理系统前级中排放气体的装置包括耦接于处理腔室前级的等离子体源、耦接于所述等离子体源的处理剂源、以及下游收集器以冷却排放流及收集排放流中的粒子。在一些实施方式中，多个前级等离子体反应器子系统与真空处理系统一起使用，并且一个前级等离子体反应器子系统能够被隔离及进行保养(例如清洁)，同时另一个前级等离子体反应器子系统中的排放气体处理仍持续，并且所述真空处理系统中的处理持续。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 前级热 反应器 系统 | ||
【主权项】：
一种用于处理真空处理腔室排放气体的前级等离子体反应器子系统，包括：等离子体源，所述等离子体源具有第一进口，配置所述第一进口以耦接于所述真空处理腔室；及下游收集器，所述下游收集器耦接于所述等离子体源的排出口。
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