[发明专利]基于应变感测镜位置

摘要

本发明公开了一种机械装置，该机械装置包括基座(24)、移动元件(26)和铰链(28)，该铰链具有附接至移动元件的第一端部。支撑结构(32)附接至基座并附接至铰链的第二端部，并且至少具有垂直于铰链的部件以便将移动元件围绕铰链的旋转转换成该部件的伸长，由此移动元件围绕铰链相对于基座旋转，而支撑结构由于移动元件围绕铰链的旋转而变形。基于应变的旋转传感器(34,44,46,60,62,72,74,100)与支撑结构相关联并且被配置为提供用于指示响应于由于移动元件的旋转造成的支撑结构的变形所导致的应变的移动元件的旋转的信号。

主权项

1.一种机械装置，包括：基座；移动元件；铰链，所述铰链具有附接至所述移动元件的第一端部并具有第二端部；横梁，所述横梁垂直于所述铰链并具有附接至所述基座的端部，其中所述铰链的所述第二端部在所述端部之间的位置处附接至所述横梁，使得所述横梁响应于所述移动元件围绕所述铰链的旋转而伸长，由此所述移动元件围绕所述铰链相对于所述基座旋转，而所述横梁由于所述移动元件围绕所述铰链的所述旋转而变形；基于应变的旋转传感器，所述基于应变的旋转传感器包括在所述横梁的所述端部中的一个或两者上或者与所述横梁的所述端部中的一个或两者相邻的至少一个十字形掺杂区域，所述至少一个十字形掺杂区域包括两对相互垂直的臂，所述两对相互垂直的臂具有响应于由于所述移动元件的所述旋转造成的所述横梁的变形所导致的应变而变化的相应电阻；和感测电路，所述感测电路耦接至所述臂的相应端部并且被配置为输出响应于该变化的电阻的对所述移动元件的所述旋转的角度的指示。