[实用新型]多晶硅铸锭炉的散热系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的散热系统，所述铸锭炉包括：炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温护罩，保温护罩内设置有坩埚、对应坩埚的石墨护罩、对应石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于石墨护罩底部的散热平台，散热平台沿厚度方向在下表面设置一圈横向隔热槽，散热平台沿宽度方向在四周端面设置一圈纵向隔热槽；横向隔热槽与纵向隔热槽内均填充有隔热材料。该实用新型通过对散热系统的升级改造，从而有效控制中心热量向四周的传输，并控制热量向四个边角的传输，从而增加了中间热量的散发效率并降低了四周热量的散发效率，从而有效控制热交换的均匀度，有效控制长晶均匀度及铸锭质量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的散热系统，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩，所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚，其特征在于，所述散热平台沿厚度方向在下表面设置一圈横向隔热槽，所述散热平台沿宽度方向在四周端面设置一圈纵向隔热槽；所述横向隔热槽与纵向隔热槽内均填充有隔热材料。