[实用新型]一种水冷籽晶杆有效
申请号: | 201521046052.9 | 申请日: | 2015-12-16 |
公开(公告)号: | CN205223406U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 王维;徐炜;孙矿 | 申请(专利权)人: | 上海晨华科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B17/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201804 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种水冷籽晶杆,该籽晶杆用于连接籽晶夹头及籽晶,所述水冷籽晶杆由空心内管和U字形外管构成,内管和外管之间采用水密封连接;外管侧上部设有用于出水的水嘴,外管底部设置有和籽晶夹头连接的接口,外管内空腔底部中心设有内管定位固定槽,用于定位和固定内管下端;内管下端插在所述的定位固定槽内,内管侧部在高于定位固定槽上端面的一定高度开设出水孔,上述籽晶杆内管被有效定位和固定,有效解决了长籽晶杆容易振动、制造过程出水口高度不容易控制以及内管不易居中的问题,保证长晶过程顺利有效进行。 | ||
搜索关键词: | 一种 水冷 籽晶 | ||
【主权项】:
一种水冷籽晶杆,由空心的内管(10)和U字形的外管(20)构成,内管(10)和外管(20)之间通过内外管连接部(12)进行水密封性连接,内管(10)的下端部(13)深入到外管内腔体底部;外管(20)侧上部设有外管出水口(21),外管(20)底部设置有用于连接籽晶夹头及籽晶的籽晶接口(22),其特征在于:所述水冷籽晶杆,其外管(20)内空腔底部中心设有定位固定槽(30),用于定位和固定内管下端部(13);内管下端部(13)插到所述定位固定槽(30)底面,内管(10)侧部高于定位槽上端面的侧部开设内管出水孔(31)。
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