[实用新型]一种用于激光器的射频电源

摘要

一种用于激光器的射频电源，其特征在于：第一功率放大模块1，第二功率放大模块2，第三功率放大模块3，第四功率放大模块4，第五功率放大模块5，第六功率放大模块6，第七功率放大模块7，第八功率放大模块8，第九功率放大模块9，第十功率放大模块10，第十一功率放大模块11，第十二功率放大模块12，射频输出匹配电路13，第一微带功率合成电路15，第二微带功率合成电路16，第三微带功率合成电路17，第四微带功率合成电路18，第五微带功率合成电路20，第六微带功率合成电路21，第七微带功率合成电路22，第一水冷散热器14，第二水冷散热器19。

主权项

一种用于激光器的射频电源，其特征在于：包括第一功率放大模块(1)，第二功率放大模块(2)，第三功率放大模块(3)，第四功率放大模块(4)，第五功率放大模块(5)，第六功率放大模块(6)，第七功率放大模块(7)，第八功率放大模块(8)，第九功率放大模块(9)，第十功率放大模块(10)，第十一功率放大模块(11)，第十二功率放大模块(12)，射频输出匹配电路(13)，第一微带功率合成电路(15)，第二微带功率合成电路(16)，第三微带功率合成电路(17)，第四微带功率合成电路(18)，第五微带功率合成电路(20)，第六微带功率合成电路(21)，第七微带功率合成电路(22)，第一水冷散热器(14)，第二水冷散热器(19)，其中，第一功率放大模块(1)、第二功率放大模块(2)、第三功率放大模块(3)输出到第一微带功率合成电路(15)合成一路，第四功率放大模块(4)、第五功率放大模块(5)、第六功率放大模块(6)输出到第二微带功率合成电路(16)合成一路，第七功率放大模块(7)、第八功率放大模块(8)、第九功率放大模块(9)输出到第四微带功率合成电路(18)合成一路，第十功率放大模块(10)、第十一功率放大模块(11)、第十二功率放大模块(12)输出到第三微带功率合成电路(17)合成一路，所述第一、第二、第三、第四微带功率合成电路，各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路，第一微带功率合成电路(15)、第四微带功率合成电路(18)输出给到第五微带功率合成电路(21)的两个输入端，第二微带功率合成电路(16)、第三微带功率合成电路(17)输出到第七微带功率合成电路(22)的两个输入端，所述第五微带功率合成电路(20)、第七微带功率合成电路(22)各把两路输入功率电流合成为一路，并通过电极输送给第六微带功率合成电路(21)最后合成一路，所述的微带功率合成电路再输出到射频输出匹配电路(13)，经过所述射频输出匹配电路(13)匹配后输出到二氧化碳激光器。