[实用新型]一种单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉，属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括副室、炉筒、晶体提升机构和底座，副室包括自动旋转机构和一体式结构的侧开式副室；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈，该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起，密封圈本体的横截面为中部设有通孔的矩形，密封圈本体的一侧面上设有弧形凸起；自动旋转机构包括立轴、副室旋转轴、轴套和电机；隔离阀包括隔离电机、连轴、阀座、阀盖和转动臂；炉筒位于侧开式副室的下方且炉筒内部与侧开式副室内部相连通，侧开式副室下部设有隔离阀，晶体提升机构安装于侧开式副室的上方；炉筒和立轴均设置于底座上。本实用新型主要解决了取棒过程中容易掉棒和密封漏气的问题。

主权项

一种单晶炉，其特征在于：包括副室、炉筒(3)、晶体提升机构(5)和底座(6)，所述副室包括自动旋转机构和一体式结构的侧开式副室(2)；所述侧开式副室(2)包括内部设有空腔的副室主体(2‑1)和门板(2‑2)，所述副室主体(2‑1)一侧面上设有开口，所述门板(2‑2)通过铰链(2‑3)转动连接在副室主体(2‑1)上，门板(2‑2)与副室主体(2‑1)侧面上的开口相配合；所述副室主体(2‑1)与门板(2‑2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈(2‑13)，该密封圈(2‑13)包括密封圈本体(2‑13‑2)和弧形凸起(2‑13‑1)，密封圈本体(2‑13‑2)的横截面为中部设有通孔的矩形，密封圈本体(2‑13‑2)的一侧面上设有弧形凸起(2‑13‑1)；副室主体(2‑1)与门板(2‑2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈(2‑13)上的弧形凸起(2‑13‑1)嵌入上述密封圈槽内；所述自动旋转机构包括立轴(2‑5)、副室旋转轴(2‑7)、轴套(2‑8)和电机(2‑9)，所述立轴(2‑5)位于侧开式副室(2)的一侧，所述副室旋转轴(2‑7)通过连接件与侧开式副室(2)固连，副室旋转轴(2‑7)穿过轴套(2‑8)，轴套(2‑8)与立轴(2‑5)固连；所述电机(2‑9)的输出轴与电机齿轮(2‑4)固连，副室旋转轴(2‑7)的上端固连传导齿轮(2‑12)，所述电机齿轮(2‑4)与传导齿轮(2‑12)啮合传功；所述传导齿轮(2‑12)下表面固连有光电感应块一(2‑11)，传导齿轮(2‑12)下方的轴套(2‑8)上表面固连有光电限位开关一(SQ1)和光电限位开关二(SQ2)；所述副室旋转轴(2‑7)的下端设有用于升降副室旋转轴(2‑7)的副室升降气缸(2‑6)；所述副室旋转轴(2‑7)的下部设有光电感应块二(2‑10)，立轴(2‑5)的下部设有光电限位开关三(SQ3)；还包括正转开关(SB1)和反转开关(SB2)，其中，正转开关(SB1)与控制电机(2‑9)正转的电路连锁控制，反转开关(SB2)与控制电机(2‑9)反转的电路连锁控制；所述光电限位开关三(SQ3)一端与电源连接，另一端分为并联的两路，其中一路为串联的正转开关(SB1)和光电限位开关二(SQ2)，另一路为串联的反转开关(SB2)和光电限位开关一(SQ1)，所述并联的两路均与电机(2‑9)相连；所述炉筒(3)位于侧开式副室(2)的下方且炉筒(3)内部与侧开式副室(2)内部相连通，侧开式副室(2)下部设有隔离阀(4)，所述晶体提升机构(5)安装于侧开式副室(2)的上方；所述炉筒(3)和立轴(2‑5)均设置于底座(6)上；所述隔离阀(4)包括隔离电机(4‑1)、连轴(4‑2)、阀座(4‑3)、阀盖(4‑4)和转动臂(4‑5)，所述阀座(4‑3)安装于侧开式副室(2)下部横截面上，阀座(4‑3)上设有圆形通孔；所述隔离电机(4‑1)的输出轴上固连有隔离电机齿轮(4‑1‑1)，连轴(4‑2)的一端固连有连轴齿轮(4‑2‑1)，所述隔离电机齿轮(4‑1‑1)与连轴齿轮(4‑2‑1)啮合传功；所述连轴(4‑2)的另一端通过转动臂(4‑5)与阀盖(4‑4)固连，阀盖(4‑4)与阀座(4‑3)上的圆形通孔相配合；所述阀座(4‑3)上固定有连轴轴套(4‑7)，所述连轴(4‑2)安装于连轴轴套(4‑7)内；所述连轴齿轮(4‑2‑1)上固连有光电感应块三(4‑6)，光电限位开关四(SQ4)、光电限位开关五(SQ5)分别固定于侧开式副室(2)侧面的两个支架上且光电限位开关四(SQ4)、光电限位开关五(SQ5)分别位于光电感应块三(4‑6)的两侧；还包括打开开关(SB3)和关闭开关(SB4)，其中，打开开关(SB3)与控制隔离电机(4‑1)正转的电路连锁控制，关闭开关(SB4)与控制隔离电机(4‑1)反转的电路连锁控制；并联的两路一端与电源连接，另一端与隔离电机(4‑1)相连，所述并联的两路中一路为串联的打开开关(SB3)和光电限位开关四(SQ4)，另一路为串联的关闭开关(SB4)和光电限位开关五(SQ5)。