[实用新型]集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件

摘要

本专利公开了一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件，组件由外壳、管帽、光学窗口等部分组成。组件带有抽气口、进出液口，在其内部集成了可工作在深低温的制冷装置及大功率探测器芯片，对于100K左右的制冷温度，可选用液氮作为导冷循环液。工作时液氮从进液口进入到制冷装置，在制冷装置内部循环后从出液口排出。工作时抽气口接真空泵，对探测器内部抽气，避免内部芯片表面结冰。该组件可以对100W～500W的芯片进行制冷，实现芯片在100K以下的持续工作。

主权项

一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件，它包括外壳(1)、管帽(2)、光学窗口(3)、管帽固定螺钉(4)、探测器芯片(5)、液冷装置(6)、隔热密封圈(7)和液冷装置固定螺钉(8)，其特征在于：光学窗口(3)通过环氧胶粘贴或金属焊料焊接的方式与管帽(2)密封连接在一起，外壳(1)上放置金属密封圈(104)，然后放置管帽(2)，使面(201)与金属密封圈(104)接触，外壳(1)与管帽(2)通过将16个M1.6管帽固定螺钉(4)对应安装穿过管帽(2)上的Ф1.8通孔(202)并与外壳1的上16个M1.6螺孔(108)螺接旋紧连接在一起，液冷装置(6)的进出液管(610)、(604)和液冷底板(603)通过真空钎焊工艺密封焊接在一起，液冷室(601)、低温密封圈(602)、液冷底板(603)通过销钉定位组装在一起；大隔热密封圈(701)和小隔热密封圈(702)放在液冷底板对应的环形槽内，液冷装置(6)放在外壳(1)内，通过8个M2.0的液冷装置固定螺钉(8)将液冷装置(6)与外壳(1)连接在一起。