[实用新型]一种控制靶材磁场的装置有效
| 申请号： | 201520971316.5 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN205133729U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张秀玉;王宝友;党鹏乐;丁立薇;张小宝;朱晖 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种控制靶材磁场的装置，包括：图像采集设备、控制设备、机械设备和电磁块，电磁块位于机械设备中，机械设备位于靶材的第一表面上，图像采集设备与控制设备之间电连接，控制设备与电磁块之间电连接。图像采集设备用于采集靶材的第二表面的图像信息，控制设备用于接收采集的图像信息，确定靶材的第二表面上每个位置被刻蚀的程度值，确定电磁块所到位置的磁控制指令，电磁块用于接收磁控制指令，机械设备用于控制电磁块在靶材的第一表面的运动。本申请通过在靶材背面增加能在靶材背面运动的电磁块，确定控制电磁块的电磁强度，避免靶材在被轰击时形成溅射沟道，进而提高靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 磁场 装置 | ||
【主权项】：
一种控制靶材磁场的装置，其特征在于，包括：图像采集设备、控制设备、机械设备和电磁块，其中，所述电磁块位于所述机械设备中，所述机械设备位于靶材的第一表面上，所述图像采集设备与所述控制设备之间电连接，所述控制设备与所述电磁块之间电连接；所述图像采集设备，用于采集所述靶材的第二表面的图像信息，其中，所述图像信息用于表征所述靶材的第二表面被刻蚀程度；所述控制设备，用于接收所述图像采集设备采集到的图像信息，根据所述图像信息，确定所述靶材的第二表面上每一个位置被刻蚀的程度值，并针对每一个位置被刻蚀的程度值，确定所述电磁块所到位置的磁控制指令，其中，所述磁控制指令用于调整电磁块的磁性大小以改变所述电磁块所到位置的磁场作用；所述电磁块，用于接收所述控制设备的磁控制指令；所述机械设备，用于控制所述电磁块在所述靶材的第一表面的运动位置。
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