[实用新型]精密气浮位移平台

摘要

一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本平台的优点是：运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置，减小导轨负载，增大平台的承载能力；同时加入摩擦轮驱动机构，提高驱动平稳性。

主权项

一种精密气浮位移平台，其特征在于，包括底板、横向导轨、纵向导轨、横向气浮滑套、纵向气浮滑套、矩形移动框架、摩擦轮横向驱动装置和摩擦轮纵向驱动装置，在底板上固定有相互平行的两根纵向导轨，两横向导轨两端各通过一个纵向气浮滑套滑动连接在纵向导轨上，矩形移动框架的相对边的两端各通过一横向气浮滑套滑动连接在横向导轨上；安装在同一根所述的纵向导轨上的两个纵向气浮滑套的外侧通过封板相互连接，在一个该封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，该摩擦轮横向驱动装置通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该底板的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，该摩擦轮纵向驱动装置通过纵向推杆与一根该横向导轨的外侧中部连接；在所述的横向气浮滑套的下面与底板之间设有卸载气浮装置；在所述的横向气浮滑套和纵向气浮滑套的内侧四面均设有气浮结构，在工作时与压缩空气气源连接形成气浮垫。