[实用新型]一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m‑1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。

主权项

一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、阶梯平面角反射镜组(3)、测量角反射镜装置(4)、光电探测器组(5)，其特征在于：所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器件；所述阶梯平面角反射镜组(3)包括m个阶梯平面角反射镜(31)与m‑1个常规角反射镜配(32)对组成，m≥2，每个所述阶梯平面角反射镜(31)具有成直角的两个反射阶梯面，每个所述反射阶梯面包括n个成阶梯型的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于其中k为自然数、λ为所述激光源(1)发出的激光波长；所述常规角反射镜(32)包括成直角的两个反射平面，所述测量角反射镜装置(4)包括测量角反射镜(7)与精密位移装置(6)，测量角反射镜(7)包括成直角的两个反射平面，所述测量角反射镜(7)设置在所述精密位移装置(6)上，所述精密位移装置(6)设置在被测物体(12)上，所述精密位移装置(6)为所述测量角反射镜(7)提供与被测物体(12)位移同向或反向的位移；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)反射后，分别射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将每束激光反射到对应的所述光电探测器组(5)的各个光电探测器件；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)透射后，分别入射到所述测量角反射镜(7)后再反射到对应的光电探测器组(5)的各个光电探测器件。