[实用新型]适于8英寸硅外延工艺系统的三氯氢硅供应装置

摘要

本实用新型公开了一种适于8英寸硅外延工艺系统的三氯氢硅供应装置，其特征在于：包括为外延工艺供应物料的左三氯氢硅液罐和右三氯氢硅液罐；所述左三氯氢硅液罐通过其上的第一阀门串联第二阀门与一条工艺气体输入管路—第一管路相连接，该第一管路通过第一三通接插入右三氯氢硅液罐内的第二管路，该第二管路串联第三阀门与右三氯氢硅液罐上的第四阀门相连接。本实用新型为了满足8英寸硅外延工艺要求，使用两个TCS液罐，采取一备一用的供液方式，通过气路设计实现两个TCS液罐自动切换的功能，可确保生产连续不间断，提升产能，提高生产效率，降低人工成本。

主权项

一种适于8英寸硅外延工艺系统的三氯氢硅供应装置，其特征在于：包括为外延工艺供应物料的左三氯氢硅液罐(1)和右三氯氢硅液罐(2)；所述左三氯氢硅液罐(1)通过其上的第一阀门(V1)串联第二阀门(V2)与一条工艺气体输入管路—第一管路(①)相连接，该第一管路(①)通过第一三通(3)接插入右三氯氢硅液罐(2)内的第二管路(②)，该第二管路(②)串联第三阀门(V3)与右三氯氢硅液罐(2)上的第四阀门(V4)相连接；同时，所述左三氯氢硅液罐(1)通过其上的第五阀门(V5)与一条液态三氯氢硅输出管路—第三管路(③)相连接，该第三管路(③)串联有第六阀门(V6)，并通过第二三通(4)与第七阀门(V7)相连接，该第七阀门(V7)的另一端连接在第一管路(①)的第一阀门(V1)和第二阀门(V2)之间；所述第三管路(③)通过第二三通(5)接插入右三氯氢硅液罐(2)内的第四管路(④)，该第四管路(④)串联第八阀门(V8)，并通过第三三通(6)连接第九阀门(V9)和右三氯氢硅液罐(2)上的第十阀门(V10)，所述第九阀门(V9)的另一端连接在第二管路(②)的第三阀门(V3)和第四阀门(V4)之间。