[实用新型]双轨驱动的晶片磨平机

摘要

双轨驱动的晶片磨平机，在其支撑架上安装有固定盘，固定盘的上表面安装圆环形的下磨片盘，固定盘的中心安装有中心转轴，中心转轴的上部安装有中心驱动齿轮，在下磨片盘的外围安装有环形齿圈，在下磨片盘上安装有多个圆形的磨片座，磨片座的外齿与中心驱动齿轮的外齿、环形齿圈的内齿啮合，在上支架的上方安装有气缸，气缸下端安装有上磨片盘，在环形齿圈的下端安装有多个滚针轴承，在环形齿圈的内侧下方，安装有侧转轴，侧转轴的上端安装有侧驱动齿轮，侧驱动齿轮与环形齿圈的内齿啮合。采用本技术方案，当环形齿圈与中心驱动齿轮的转动方向相反时，卡在环形齿圈与中心驱动齿轮之间的磨片座的运动速度会大大加快，晶片的磨平速度大大加快。

主权项

双轨驱动的晶片磨平机，在其支撑架（4）上安装有固定盘（5），固定盘（5）的上表面安装圆环形的下磨片盘（6），固定盘（5）下安装有磨片液的回流管（11），固定盘（5）的中心安装有中心转轴（7），中心转轴（7）的上部安装有中心驱动齿轮（9），中心转轴（7）的下部通过传动齿轮连接中心驱动电机（8），在下磨片盘（6）的外围安装有环形齿圈（12），在下磨片盘（6）上安装有多个圆形的磨片座（15），磨片座（15）上加工有晶片固定孔（14），磨片座（15）的外齿与中心驱动齿轮（9）的外齿、环形齿圈（12）的内齿啮合，在支撑架（4）的两侧安装有上支架（13），在上支架（13）的上方安装有气缸（18），气缸（18）下端安装有上磨片盘（16），上磨片盘（16）上安装有磨片液的流入管（17），其特征在于：在环形齿圈（12）的下端安装有多个滚针轴承（10），滚针轴承（10）安装在支撑架（4）上，在环形齿圈（12）的内侧下方，安装有侧转轴（2），侧转轴（2）的上端安装有侧驱动齿轮（1），侧驱动齿轮（1）与环形齿圈（12）的内齿啮合，侧转轴（2）的下端通过传动齿轮与侧驱动电机（3）连接。