[实用新型]一种基板处理装置

摘要

本实用新型涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种基板处理装置。基板处理装置至少包括一传送机构、一倒角机构以及一变频器；传送机构用于装载并输送基板；倒角机构相邻设置于传送机构至少一侧，传送机构将基板输送通过倒角机构；变频器用于监测调节倒角机构转速，变频器设定一转速临界值为一第一速度，倒角机构转速低于第一速度时，变频器调节倒角机构恢复至第一速度以上。本实用新型根据所受阻力变频调节倒角机构转速使得基板磨边倒角效果稳定，产品良率高。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置至少包括一传送机构、一倒角机构以及一变频器；所述传送机构用于装载并输送基板；所述倒角机构相邻设置于所述传送机构至少一侧，所述传送机构将所述基板输送通过所述倒角机构；所述变频器用于监测调节所述倒角机构转速，所述变频器设定一转速临界值为一第一速度，所述倒角机构转速低于所述第一速度时，所述变频器调节所述倒角机构的转速恢复至所述第一速度以上。