[实用新型]一种用于金刚石线切割的树脂垫板有效
申请号: | 201520912296.4 | 申请日: | 2015-11-17 |
公开(公告)号: | CN205291299U | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 梁宁;曹绍文 | 申请(专利权)人: | 阳光硅谷电子科技有限公司;合肥晶澳太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波 |
地址: | 河北省廊坊市三河市燕郊经*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于金刚石线切割的树脂垫板,其特征在于:所述的树脂垫板1表面沿其长边方向开有若干条竖槽11。所述的竖槽11的条数为3~5条。本实用新型的树脂垫板能减少金刚石线切割过程中所产生的硅片的晶裂、亮边、缺口等不良现象,提高切割质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 金刚石 切割 树脂 垫板 | ||
【主权项】:
一种用于金刚石线切割的树脂垫板,其特征在于:所述的树脂垫板(1)表面沿其长边方向开有若干条竖槽(11)。
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