[实用新型]热波成像膜层厚度检测系统

摘要

本实用新型涉及一种热波成像膜层厚度检测系统，该系统采用高功率热激励源对试件表面进行脉冲加热，采用逐行扫描方式的热成像装置将被测试件表面的热波信号记录下来，得到试件表面热波信号随时间变化的曲线，再将该曲线与相应理论模型进行拟合，从而得到被测试件表面膜层的厚度。

主权项

一种热波成像膜层厚度检测系统，其特征在于，所述系统包括：热激励单元（22），所述热激励单元（22）用于产生高能量脉冲辐射，并在被测试件（24）表面激发脉冲热波；热激励驱动源（21），所述热激励驱动源（21）用于驱动所述热激励单元（22）；红外成像装置（25），所述红外成像装置（25）采用逐行扫描方式，用于采集所述被测试件（24）表面的热波信号；数据采集处理系统（27），所述数据采集处理系统（27）用于采集热波图像及进行分析处理；同步控制单元（23），所述同步控制单元（23）用于调整所述热激励单元（22）和红外成像装置（25）图像采集之间的时序关系。