[实用新型]板材安装治具有效
| 申请号： | 201520882117.7 | 申请日： | 2015-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN205062169U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 王效坤;朴祥秀;张勋泽;丁冬;沙磊;王化露;王召波;张文俊;闻庆亮;吕雷雷;张卓然 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗瑞芝;陈源 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种板材安装治具，属于半导体技术领域。本实用新型的板材安装治具包括框架，所述框架用于对板材进行吊装固定，还包括至少一个矫正单元，所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块，所述支撑板设置于所述框架内部，所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直往复移动，以对所述板材进行面矫正。本实用新型的板材安装治具能够对安装在磁控溅射镀膜设备上的铜背板进行面矫正，从而使所有安装螺钉均能够与铜背板连接，避免存在未连接固定的安装螺钉碰撞磁铁，造成磁铁损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 板材 安装 | ||
【主权项】：
一种板材安装治具，包括框架，所述框架用于对板材进行吊装固定，其特征在于，还包括至少一个矫正单元，所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块，所述支撑板设置于所述框架内部，所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直移动，以对所述板材进行面矫正。
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