[实用新型]一种聚合物辐照损伤测试装置

摘要

本实用新型公开了一种聚合物辐照损伤的测试装置，所述装置包括相互独立的光源室、光路室和样品室；所述光路室内设置有光路传输部件和光学检测部件；所述光路传输部件包括：光束衰减器、匀束器、快门、聚焦透镜、第一分束镜和第二分束镜；所述光学检测部件包括能量计和光束质量分析仪，用于测试所在位置的光束能量和光斑面积，以获得辐照到样品上的能量密度；所述样品室放置有样品座、样品和质谱计，其中样品座具有三维调节装置，用于对所述样品座进行x、y和z轴三维调节，所述质谱计在线测试所述样品室的气体组分，以实时监测与判断样品是否发生辐照损伤，同时分析样品发生辐照损伤产生的碎片气体组分。

主权项

一种聚合物辐照损伤的测试装置，包括相互独立的光源室、光路室和样品室，所述光路室和样品室为真空腔室，且所述光源室、光路室和样品室之间通过法兰窗口隔断；所述光源室中设置有用于产生预定波长的准分子激光的准分子激光源，所产生的准分子激光入射到光路室中；所述光路室内设置有光路传输部件和光学检测部件；所述光路传输部件包括：光束衰减器、匀束器、快门、聚焦透镜、第一分束镜和第二分束镜，用于将入射到所述光路室的准分子激光变为能量可调节的、能量密度均匀的和辐照时间可控制的聚焦光斑而出射出去；所述光学检测部件包括能量计和光束质量分析仪，用于测试所在位置的光束能量和光斑面积，以获得辐照到样品上的能量密度；所述样品室放置有样品座、样品、质谱计和真空泵组，其中样品座具有三维调节装置，用于对所述样品座进行x、y和z轴三维调节，所述质谱计在线测试所述样品室的气体组分，以实时监测与判断样品是否发生辐照损伤，同时分析样品发生辐照损伤产生的碎片气体组分；所述真空泵组用于对样品室进行抽真空。