[实用新型]一种可调节极板间距的平面电容传感器有效
申请号: | 201520858547.5 | 申请日: | 2015-10-30 |
公开(公告)号: | CN205139073U | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 李振;韩亚洲;肖梦霜;门连秀;毛冬麟;陈洁;孔祥顺;石强;薛鑫 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(华东) |
主分类号: | G01N27/24 | 分类号: | G01N27/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266580 山东省青岛市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种可调节极板间距的平面电容传感器,包括驱动电极、屏蔽电极I、驱动电极板、绝缘基体I、检测电极、屏蔽电极II、检测电极板、绝缘基体II、上夹板、下夹板和紧固螺钉;驱动电极板和检测电极板被固定在上夹板和下夹板之间,且这两个极板之间的间距由四个紧固螺钉调节,从而实现了对不同深度缺陷的检测;驱动电极和检测电极都是正方形的,使更大的区域具有边缘电场,提高了检测精度和成像性能;驱动电极和屏蔽电极I、检测电极和屏蔽电极II分别被蚀刻在绝缘基体I、绝缘基体II的同一平面上,屏蔽电极I和屏蔽电极II能有效屏蔽外部噪声信号对边缘电场的干扰,从而提高传感器的抗电磁干扰能力和检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 调节 极板 间距 平面 电容 传感器 | ||
【主权项】:
一种可调节极板间距的平面电容传感器,其结构包括:驱动电极(1)、屏蔽电极I(2)、驱动电极板(3)、绝缘基体I(4)、检测电极(5)、屏蔽电极II(6)、检测电极板(7)、绝缘基体II(8)、上夹板(9)、下夹板(10)、紧固螺钉(11);驱动电极板(3)和检测电极板(7)被固定在上夹板(9)和下夹板(10)之间,四个紧固螺钉(11)用来调节驱动电极板(3)和检测电极板(7)之间的间距。
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