[实用新型]一种等离子体物理面控制系统

摘要

本实用新型公开了一种等离子体物理面控制系统，包括一组Y轴伺服驱动系统、两组X轴伺服驱动系统、两组型号相同的鱼鳞屏蔽；所述鱼鳞屏蔽安装于孪生靶前的两侧基本挡板上；所述鱼鳞屏蔽包括相互链接的十四片单面鳞片及基本挡板；所述单面鳞片安装于孪生靶前的两侧基本挡板上；所述Y轴伺服驱动系统包括Y轴伺服电机、Y轴滑杠及Y轴螺旋机构；所述X轴伺服驱动系统包括X轴伺服电机、X轴鳞片推动杆、X轴一字齿条和X轴传动杆。本实用新型的等离子体物理面控制系统，在真空状态下直接由电脑设置，伺服驱动传动输入，蛇形链接的不锈钢片按设置坐标点产生位移来调控等离子体物理面，从而达到溅射镀膜膜层均匀的目的。

主权项

一种等离子体物理面控制系统，其特征在于：包括一组Y轴伺服驱动系统、两组X轴伺服驱动系统、两组型号相同的鱼鳞屏蔽；所述鱼鳞屏蔽安装于孪生靶前的两侧基本挡板上；所述鱼鳞屏蔽包括相互链接的十四片单面鳞片及基本挡板；所述单面鳞片安装于孪生靶前的两侧基本挡板上；所述Y轴伺服驱动系统包括Y轴伺服电机、Y轴滑杠及Y轴螺旋机构；所述X轴伺服驱动系统包括X轴伺服电机、X轴鳞片推动杆、X轴一字齿条和X轴传动杆；    所述鱼鳞屏蔽通过X轴位移推拉杆链接轴孔与X轴鳞片推动杆连接；所述X轴鳞片推动杆通过咬合柱与X轴一字齿条连接；所述X轴一字齿条通过X轴主传动齿轮与X轴传动杆啮合；所述X轴传动杆安装于Y轴滑杠内部，所述X轴传动杆的一端通过磁流体对接螺母与X轴伺服电机连接；所述X轴伺服电机安装于Y轴滑杠上方；所述Y轴滑杠通过X轴一字齿条固定架与Y轴滑杠导航杆上的直线轴承对接；所述Y轴滑杠上安装有Y轴滑杠密封件；所述Y轴滑杠通过Y轴螺母横杆对接方形法兰与Y轴螺旋机构固连接；所述Y轴螺旋机构包括Y轴螺杆和Y轴螺母横杆；所述Y轴螺杆活动安装于Y轴螺杆行程固定架；所述Y轴伺服电机设置于Y轴螺杆上方。