[实用新型]膜厚的检测装置有效
申请号: | 201520771879.X | 申请日: | 2015-09-30 |
公开(公告)号: | CN205102769U | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 戚务昌;邓娟 | 申请(专利权)人: | 威海华菱光电股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 赵囡囡;吴贵明 |
地址: | 264209 山东省威海*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括:电源、公共电极、至少一个检测电极与检测电路。其中,电源用于提供电信号;公共电极与电源电连接;各检测电极与公共电极在第一方向上相对且间隔设置,公共电极与各检测电极之间的间隔构成待测膜的传输通道,第一方向与第一平面垂直,第一平面与待测膜的移动方向平行;检测电路与检测电极电连接,用于检测检测电极的感应电信号,该检测装置无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度,更加轻便,方便使用,能够检测更多物体的厚度。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种膜厚的检测装置,其特征在于,所述检测装置包括:电源,用于提供电信号;公共电极(12),与所述电源电连接;至少一个检测电极(22),与所述公共电极(12)在第一方向上相对且间隔设置,所述公共电极(12)与各所述检测电极(22)之间的间隔构成待测膜的传输通道,所述第一方向与第一平面垂直,所述第一平面与所述待测膜的移动方向平行;以及检测电路(25),与所述检测电极(22)电连接,用于检测所述检测电极(22)的感应电信号。
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