[实用新型]一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置

摘要

一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置，通过电阻传感器收集膜上的电阻数据，再发送到电阻控制器，由电阻控制器判断并控制滚轴变频电机的转速，以达到标准的膜电阻，在因电阻大小而改变滚轴转速时产生未进入滚轴主体膜的温度升高或降低而影响膜质量时，通过红外测温探头收集膜表面温度数据再根据标准温度来实时改变冷却水变频装置的冷却水控制量，从而保护膜，这样不仅可以实时控制膜电阻大小，又可以保护表面温度的恒温。

主权项

一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置，在即将进入滚轴主体的膜上方设置电阻传感器，收集膜电阻数据发送至电阻控制器，电阻控制器负责对比电阻大小并控制变频滚轴电机转速，膜下方设有红外测温探头用于收集膜表面温度以控制冷却水变频装置的冷却水流量以保证膜的正常温度。