[实用新型]高精度三坐标测量仪

摘要

本实用新型公开一种高精度三坐标测量仪，包括载物平台、主动活动臂、从动活动臂、钢带绝对光栅尺、读数头和水平桥，所述主动活动臂、从动活动臂分别设置于载物平台两侧；所述载物平台一侧且位于主动活动臂正下方设置有第一滑轨，所述载物平台另一侧且位于从动活动臂正下方设置有第二滑轨，所述第一滑轨和第二滑轨平行设置；所述钢带绝对光栅尺安装于载物平台侧端面且其与沿y向方向平行设置，所述读数头设在主动活动臂上，所述钢带绝对光栅尺与主动活动臂运动方向平行，所述读数头随所述主动活动臂移动。本实用新型有效消除往复测量误差和机械配合误差，同时因使用光扫描测量法而具备良好的抗污染能力和长期稳定性。

主权项

 一种高精度三坐标测量仪，其特征在于：包括：载物平台（1）、主动活动臂（2）、从动活动臂（3）、钢带绝对光栅尺（10）、读数头（11）和水平桥（4），所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）分别设置于载物平台（1）两侧，所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）各自的上端之间固定有所述水平桥（4），此水平桥（4）位于载物平台（1）正上方，一可沿水平方向滑动的X轴滑块（5）安装于所述水平桥（4）上，所述X轴滑块（5）滑动连接有可沿垂直方向滑动的Z轴移动机构（6）；所述载物平台（1）一侧且位于主动活动臂（2）正下方设置有第一滑轨（22），所述载物平台（1）另一侧且位于从动活动臂（3）正下方设置有第二滑轨（23），所述第一滑轨（22）和第二滑轨（23）平行设置，所述第一滑轨（22）上安装有至少一个第一气浮滑块（221）且此第一气浮滑块（221）位于主动活动臂（2）和第一滑轨（22）之间，所述第二滑轨（23）上安装有至少一个第二气浮滑块（231）且此第二气浮滑块（231）位于从动活动臂（3）和第二滑轨（23）之间；所述钢带绝对光栅尺（10）安装于载物平台（1）侧端面且其与沿y向方向平行设置，所述读数头（11）设在主动活动臂（2）上，所述钢带绝对光栅尺（10）与主动活动臂（2）运动方向平行，所述读数头（11）随所述主动活动臂（2）移动，并通过位于读数头（11）内部的光电传感器（12）扫描所述钢带绝对光栅尺（10）上的增量光栅（11）获得位移量，所述增量光栅（11）中穿插有若干个绝对参考点（14）。