[实用新型]一种单晶硅截断专用夹具有效
申请号: | 201520667420.5 | 申请日: | 2015-08-31 |
公开(公告)号: | CN204914281U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 段景波;郭世锋;谢培玉;张顼 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266114 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶硅截断专用夹具,包括底座、安装于底座上的压紧装置、以及用于将夹具安装在工作台上的夹具固定装置,所述夹具还包括安装在底座上的四组浮动支撑单元,所述浮动支撑单元包括浮动支撑机构以及通过底座与浮动支撑机构连接的浮动支撑锁紧装置。本实用新型通过浮动支撑机构以适应单晶硅棒的不同直径变化,并且在自适应浮动支撑机构调整完毕后通过浮动支撑锁紧装置来提高单晶硅棒支承刚性,保证了切割完毕后硅棒的稳定性,避免了因切割完毕后硅棒的位移引起切割效率及质量问题;并且很好的保证了切割断面的垂直度及减少了切割崩边的可能,减少了单晶硅棒的损失,节约硅棒成本,提高了加工效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 截断 专用 夹具 | ||
【主权项】:
一种单晶硅截断专用夹具,包括底座、安装于底座上的压紧装置、以及用于将夹具安装在工作台上的夹具固定装置,其特征在于:所述夹具还包括安装在底座上的四组浮动支撑单元,所述浮动支撑单元包括浮动支撑机构以及通过底座与浮动支撑机构连接的浮动支撑锁紧装置。
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